ウェハー再生装置
NG品ウェハーの有機物をケミカル除去する自動装置です。カセット内に収められたNGウェハーをロボットで搬送し、ホットプレート・薬液浸漬・スピンブラシ等の工程で有機物除去を行い、スピン乾燥工程を経てカセット内に戻します。安全性を考慮し、火災検知や消火設備等も装備しています。
納入実績Works
これまでに製作した装置の一例をご紹介します。
いずれもお客様のご要望に合わせたオーダーメイドで設計・製作しています。画像をクリックすると拡大表示されます。
特殊装置
特殊装置
加圧式真空ラミネート装置
基板用絶縁フィルムの真空貼り付け装置です。基板に熱溶着フィルムを真空中にてエアープレスし、気泡の侵入を抑え、厚み精度を確保する装置です。
スピン系装置
スピン現像ステーション
露光機に付属することで、カセット to カセットによる現像・洗浄・乾燥を自動で行える装置です。カセット内のガラスをロボットで搬送し、スピン現像後、露光機に投入・回収してカセット内に戻します。タクトタイム短縮のため2ラインを1台に収め、液循環ユニットを搭載している点が特色です。
スピン系装置
マスク洗浄機
マスクガラス等の洗浄用スピン装置です。ワークサイズ・処理薬液数を問わず製作可能です。
スピン系装置
マスク特殊洗浄機
ブラシ機構を有した、小型マスクガラスの洗浄用スピン装置です。お客様のご要望に合わせ、ブラシ・薬液塗布能力を特化させています。
スピン系装置
ウェハー特殊洗浄機
ブラシ機構を特化させたウェハーの洗浄装置です。お客様のご要望に合わせ、繊細なブラシ機構を有した低価格装置です。
スピン系装置
小型スピンコーター各種
半導体・小型ガラス用の汎用式小型スピン装置です。少ロット生産および実験等でご購入いただいており、高性能・低価格です。
スピン系装置
スピン洗浄装置
□型ガラス用のスピン塗布と端面洗浄を行う装置です。端面洗浄のみの装置もございます。
加工装置
レーザーマーキング装置
コンベアローダーに手動で段積みカセットをセットし、自動でコンベア搬送して切り出し、レーザーにより刻印を行い、移載機で段積み後にコンベアで排出する装置です。カセットは「25段積み」を13列×2列まで順次投入可能。作業者なしでも長時間の稼働が可能です。
搬送装置
セル搬送装置
□型セル用の搬送装置です。薄型セルをEPSボックスから取り出して搬送するローダー装置です。
検査装置
画像検査装置
組立部品の総検査を画像処理により行います。画像処理ユニットと6軸ロボットおよび回転テーブルにより、対象物体の底面以外を検査・確認できます。
検査装置
最終検査装置
エアコン用組立後部品の最終動作検査装置です。ワークを手動でセット後、各種検査を自動で行います。