【特殊装置】ウェハー再生装置
NG品ウェハー有機物のケミカル除去をする自動装置です。カセット内に収められたNGウェハーをロボットで搬送し、Ｈ／Ｐ・薬液浸漬・スピンブラシ等の、工程で有機物除去を行いスピン乾燥工程を経てカセット内に戻します。安全性を考慮し、火災検知や消火設備等も装備しております。
【特殊装置】加圧式真空ラミネート装置
基板用絶縁フィルムの真空貼り付け装置です。基板に熱溶着フィルムを真空中にてエアープレスし気泡の侵入を抑え、厚み精度を確保する装置です。
【スピン系装置】スピン現像ステーション
露光機に付属する事で、カセットtoカセットによる現像・洗浄・乾燥を自動で行える装置です。カセット内に収められたガラスをロボットで搬送しスピン現像後、露光機に投入・回収しカセット内に戻します。特色は、タクトタイム短縮の為 ２ラインを１台に収めた事と液循環ユニットを搭載している事です。
【スピン系装置】マスク洗浄機
マスクガラス等の洗浄用スピン装置です。ワークサイズ、処理薬液数を問わず製作可能です。
【スピン系装置】マスク特殊洗浄機
ブラシ機構を有した、小型マスクガラスの洗浄用スピン装置です。この装置は、お客様のご要望に合わせブラシ・薬液塗布能力を特化させております。
【スピン系装置】ウェハー特殊洗浄機
ブラシ機構を特化させた、ウェハーの洗浄装置です。この装置は、お客様のご要望に合わせ繊細なブラシ機構を有した、低価格装置です。
【スピン系装置】小型スピンコーター各種
半導体・小型ガラス用の汎用式小型スピン装置です。少ロッド生産及び実験等でご購入頂いており、高性能・低価格です。
【スピン系装置】スピン洗浄装置
□型ガラス用のスピン塗布と端面洗浄を行う装置です。端面洗浄のみの装置もございます。
【加工装置】レーザーマーキング装置
コンベアローダーに手動で段積みカセットをセットし、自動でコンベアにて切出し搬送し、レーザーにより刻印を行い移載機で段積み後、コンベアにて排出する装置です。カセットは、”２５段積み”を１３列×２列まで順次投入可能です。作業者なしでも長時間の稼働が可能です。
セル搬送装置
□型セル用の搬送装置です。薄型セルをEPSボックスから取り出し搬送するローダー装置です。
画像検査装置
組立部品の総検査を画像処理により行います。画像処理ユニットと６軸ロボット及び回転テーブルにより対象物体の底面以外を検査・確認できます。
最終検査装置
エアコン用組立後部品の 最終動作検査装置です。ワークを手動でセット後、各種検査を自動で行います。
